«Люмас-30» представляет собой новый тип элементного анализатора, предназначенный для прямого анализа монолитных, тонкослойных и порошковых материалов: металлов, полупроводников

и диэлектриков, а также объектов со смешанной слоистой структурой диэлектрик-металл, металл-полупроводник и диэлектрик-полупроводник (например, коррозионные пленки на поверхности металла).

 

Достоинства прибора: 

  • возможность регистрации большого числа спектров за время распыления одной пробы, что позволяет улучшить отношение сигнал/шум за счет статистического усреднения зарегистрированных спектров; 
  • прямой анализ твердых проб, включая растворенные в пробах газы с высокоэкономичным расходом рабочего газа и вещества пробы за счет согласования во времени импульсной ионизации с времяпролетной регистрацией масс-спектра, что позволяет существенно снизить пределы обнаружения; 
  • высокая эффективность распыления и ионизации элементов пробы в импульсном разряде и, как следствие, низкие пределы обнаружения (50-200 ppb); 
  • большой динамический диапазон определяемых содержаний элементов (до 7 порядков величины), что на 2-3 порядка лучше пределов обнаружения других методов прямого анализа твердых проб; 
  • высокоэффективное подавление газовых компонент за счет временной дискриминации и использования водорода, как реакционного газа; 
  • широкий круг анализируемых объектов, включающий в себя, кроме металлов, диэлектрики и полупроводники. Эта возможность обеспечивается использованием коротких (1-80 мкс) импульсов разрядного тока, позволяющих распылять непроводящие и слабопроводящие электрический ток материалы; 
  • возможность прямого масс-спектрального анализа послойных неоднородностей самых разнообразных объектов (с послойным разрешением около 3 нм); 
  • возможность прямого масс-спектрального анализа многослойных тонкопленочных покрытий;      - отсутствие растворения в процедуре пробоподготовки.

 

Остались вопросы, на которые нет ответа?

Свяжитесь с нами
Юридический адрес

Российская Федерация, г. Москва,
ул. Бардина, д.4, стр. 1
web сайт: nanotech.ru e-mail: info@nanomods.ru

Тендерный отдел

Российская Федерация,г. Москва,
ул. Бардина, д.4, стр. 1
e-mail: tender@nanomods.ru Тел.: +7 (499) 135-8090

Время работы:

понедельник - пятница: 09:00 - 18:00

суббота - воскресенье: выходной