Метрологический сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с гетеродинным лазерным интерферометром. Данный измерительный комплекс предназначен для использования в качестве рабочего эталона для измерений линейных размеров в

нанометровом диапазоне, что позволяет обеспечивать прослеживаемость измерений линейных размеров наноструктур методами сканирующей зондовой микроскопии.

Основное назначение - определение метрологических характеристик других сканирующих зондовых микроскопов и обеспечение достоверности измерений линейных размеров в нанометровом диапазоне в различных технологических сферах, а также в задачах сертификации и контроля продукции наноиндустрии.

Метрологические и технические характеристики

Диапазон сканирования: 500х500х50 мкм

Разрешение при сканировании в плоскости XY: 3 нм

Разрешение при сканировании по оси Z: 0,2 нм

Погрешность измерения линейных размеров в плоскости XY (не хуже): ± 0,1%

Погрешность измерения линейных размеров по оси Z (не хуже): ± 0,1%

 

Остались вопросы, на которые нет ответа?

Свяжитесь с нами
Юридический адрес

Российская Федерация, г. Москва,
ул. Бардина, д.4, стр. 1
web сайт: nanotech.ru e-mail: info@nanomods.ru

Тендерный отдел

Российская Федерация,г. Москва,
ул. Бардина, д.4, стр. 1
e-mail: tender@nanomods.ru Тел.: +7 (499) 135-8090

Время работы:

понедельник - пятница: 09:00 - 18:00

суббота - воскресенье: выходной